光学比较仪 利用光学测微仪作为放大指示部件。常见的有立式、卧式和影屏式 3种。
①立式光学比较仪：又称立式光学计,图3[光学测微仪的光学系统]为光学测微仪的光学系统。它是按自准直原理（见自准直仪）设计的。分划板位于物镜焦平面上，平面反射镜按杠杆原理设置。当测杆上下移动时，平面反射镜绕支点转动一个很小角度，由平面反射镜反射回去的光线，经直角棱镜后成象在分划板上的刻度尺象发生偏移。偏移量的大小与测杆移动距离成比例。光学测微仪的分度值为 1微米,示值范围为0.1毫米。立式光学计适宜在计量室使用，测量范围为0～180毫米，常用于检定量块和光滑量规以及测量工件的外径、厚度。
②卧式光学比较仪：又称卧式光学计，其工作原理与立式光学计相同，测量范围为0～500毫米，适用于在计量室测量较大的或在立式光学计上不易定位的工件，如圆盘等，也常利用测孔附件测量孔径。
③影屏式光学比较仪:又称投影光学计,其光学系统与立式光学计相似，但刻度尺影像经投影放大透镜放大后成象于影屏上。分度值有 1微米、0.2微米等。分度值为 0.2微米的光学系统采用多次反射以增大光学杠杆的放大比。此外，还有用光波干涉法测量的接触式干涉比较仪，其分度值为0.05微米、0.1微米和0.2 微米。
