马氏体淬火过程中，由于铸铁平板各部位的冷却不均匀，不可避免地出现热应力和组织应力而导致零件变形。
马氏体淬火后，零件的尺寸稳定性主要受以下三种不同转变的影响：碳从马氏体晶格中迁移形成ε-碳化物、残余奥氏体分解和形成fe3c,这三种转变相互叠加。在50～120℃之间，由于ε-碳化物的沉淀析出，引起零件的体积缩小，一般零件在150℃回火后已完成这一转变，其对零件以后使用过程中的尺寸稳定性的影响可以忽略;在100～250℃之间，残余奥氏体分解，转变为马氏体或贝氏体，将伴随着体积涨大;在200℃以上，ε-碳化物向渗碳体转化，导致零件体积缩小。
研究表明：残余奥氏体在外载作用或较低的回火温度下(甚至在室温下)也发生分解，导致零件尺寸变化。因些，在实际使用中，所有的轴承零件的加火温充应高于使用温度50℃，对尺寸稳定性要求较高的零件要尽量降低残余奥氏体的含量，并提高贮运和使用中的尺寸稳定性、精度、寿命及可靠性。
